2 gasartabhängigkeit mag50x, Anzeigebereich unter 10, Mbar – INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch

Seite 18: Angezeigter druck (messröhre abgeglichen für luft), Im bereich unter 10, K × angezeigter druck

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18

tina83d1-a (2014-02)

2.2 Gasartabhängigkeit

MAG50x

Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)

4

2

10

–3

8

6
4

2

10

–4

8

6
4

2

10

–5

8

6
4

2

10

–6

8

6
4

2

10

–7

10

–7

2

4 6

10

–6

2

4 6

10

–5

2

4 6

10

–4

2

4 6

10

–3

2

4 6

10

–2

Xe Kr

Luft

O

2

CO

N

2

H

2

Ne He

p

eff

[mbar]

p [mbar]

Ar

Anzeigebereich unter 10

-5

mbar

Im Bereich unter 10

-5

mbar ist die Anzeige linear. Für andere

Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung
ermittelt werden:

p

eff

= K × angezeigter Druck

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