INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
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tina83d1-a (2014-02)
Versorgungsspannung
an der Messröhre
2)
Klasse 2 / LPS
+14.5 … +30 V (dc)
Ripple
≤1 V
pp
Leistungsaufnahme
≤2 W
Sicherung vorzuschalten
1)
≤1 AT
Hochspannung in der Messkammer
Zündspannung
Betriebsspannung
≤4.5 kV
≤3.3 kV
Strom in der Messkammer
Hochstrom
Niederstrom
≤500 µA
≤100 µA
Anschluss elektrisch
3Mxx-xxx-000x
3Mxx-xxx-010x
FCC 68, 8-polig
D-Sub, 9-polig
Messkabel
für FCC
für D-Sub
8-polig, abgeschirmt
9-polig, abgeschirmt
Kabellänge (nur für FCC)
≤50 m (0.14 mm
2
/Ader)
Erdkonzept
→ "Elektrischer Anschluss"
Vakuumanschluss –
Signalerde
über 10 k
Ω
verbunden
(Potenzialdifferenz ≤16 V)
Speisungserde – Signalerde getrennt geführt; wir emp-
fehlen differentielle Messung
2)
Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur
Leitungslänge erhöht werden.