INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 19)

tina83d1-a (2014-02) 19
wobei: Gasart K
Luft (N
2
, O
2
, CO) 1.0
Xe 0.4
Kr 0.5
Ar 0.8
H
2
2.4
Ne 4.1
He 5.9
Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen
zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur
mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem
Quadrupol-Massenspektrometer.