INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
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tina83d1-a (2014-02)
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Den Abgleich bei den gleichen, konstanten Umgebungsbe-
dingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei der die
Messröhre normalerweise verwendet wird.
Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter
auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen
(
→ "Ausbau").
Messröhre in Betrieb nehmen und mindestens 10 Minuten
bei Atmosphärendruck betreiben.
Für den ATM-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift (max.
ø1.1 mm) kurz drücken: Der Pirani-Sensor gleicht auf
1000 mbar ab (Dauer
≈5 s).
ATM
HV
Wird am Messsignalausgang der Druck 1000 mbar
ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. Andern-
falls den Abgleich wiederholen.
Vakuumsystem auf p <10
-5
mbar evakuieren, anschließend
mind. 2 Minuten warten.