INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 17)

tina83d1-a (2014-02) 17
Messbereich 1.397 … 8.6 V (3MBx-xxx-0x0P)
1E+04
1E+02
1E+00
1E–02
1E–04
1E–06
1E–08
0.0 0.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5 10.5
Messsignal U [V]
Druck p
8.6 1.397
1E–09
se
n
sor
er
ro
r
Pa
mbar
torr
1.217
un
de
rr
ang
e
o
ve
rra
ng
e
p = 10
1.667U-d
⇔ U = c + 0.6 log p
Gültig im Bereich 1×10
-9
mbar < p < 1000 mbar
7.5×10
-10
Torr < p < 750 Torr
1×10 -7 Pa < p < 1×10 5 Pa
mbar Pa Torr
c 6.798 5.598 6.873
d 11.33 9.333 11.46
wobei p Druck
U Messsignal
c,d Konstante (abhängig von der Druckeinheit)