INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 13)

tina83d1-a (2014-02) 13
Werkstoffe gegen Vakuum
Vakuumanschluss
Messkammer
Edelstahl (1.4435)
Edelstahl (1.4435)
Pirani-Heizfaden ( MPG50x) W
Durchführung, MAG/MPG500
Isolation
Ring
Anode, Pin
Glas, Keramik (Al
2
O
3
)
Edelstahl (1.4435)
Ni-Legierung
Durchführung, MAG/MPG504 Keramik beschichtet
Ionisationskammer
3MAx-0xx-0x0x
Edelstahl (1.4301, 1.4016)
Zündhilfe Edelstahl (1.4310)
Inneres Volumen
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
DN 40 CF-R ≈ 19.9 cm 3
≈ 20.9 cm
3
≈ 25.2 cm
3
≈ 25.6 cm
3
Maximaldruck (absolut) 10 bar beschränkt auf inerte
Gase <55°C
Berstdruck (absolut) >13 bar
Zulässige Temperaturen
Betrieb
Pirani-Heizfaden (MPG)
Ausheizen
Lagerung +5 °C … +55 °C
120 °C
≤150 °C
3)
–40 °C … +70 °C
Relative Feuchte an 30 Tagen
pro Jahr
1Ч10
-8
… 1Ч10
-2
mbar
1Ч10
-7
… 1Ч10
-2
mbar
≤70% (nicht kondensierend)
≤95% (nicht kondensierend)
Einbaulage beliebig
Verwendung
nur in Innenräumen,
Höhe bis zu 6000 m NN
Schutzart IP 40
3) Ohne Elektronikeinheit.