INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 49)

tina83d1-a (2014-02) 49
Behebung Spei
su
ng ei
nsch
al
ten
.
Io
n
isa
tio
n
ska
mme
r ode
r
Messkammer kpl. er- setzen
(→

43, 45)
.
H
o
chspa
nnu
ng ei
nsch
al
-
ten (
→

28
).
A
u
f <1
×1
0
-2
mb
a
r a
b
pu
m
-
pen
un
d R
öhr
e vi
a
"H
V
e
in"
au
s-
un
d
wiede
r
ei
nschal
ten.
W
a
rt
en, bi
s
Gas
entl
ad
ung
zünd
et (
≈
5 M
in
u
te
n b
e
i
ei
nem
D
ruck vo
n
10
-9
mb
a
r).
M
e
ssr
öhr
e a
u
sschal
te
n
und
nac
h 5 s
w
ieder
ei
n-
schal
te
n.
Messröhre a
u
sta
u
sche
n
.
Messkammer kpl. er- setzen
(
→

45)
.
Mögliche
Ursa
che
Spei
su
ng f
ehl
t.
Messröhre verschmu
tz
t.
Kei
ne H
o
chsp
an
nun
g i
n
der Messkammer. Ü
ber
dr
uck i
n
M
e
ssk
am
-
me
r.
Gasen
tla
dung
ha
t ni
ch
t
gezü
nde
t.
EEPR
OM
-F
ehl
er
.
Messkammer stark ver
-
schm
u
tzt.
Status-
signal
0 0 0 0 0
14.5
…
30 V
LED
<HV-ST>
aus
leucht
et
gr
ün
aus
b
lin
kt
gr
ün
aus
leucht
et
gr
ün
LED
<ST>
aus
le
ucht
et
gr
ün
le
ucht
et
gr
ün
le
ucht
et
gr
ün
b
lin
kt
ro
t
le
ucht
et
gr
ün
Störung Kei
ne
Sp
ann
ung
am
Si
gnal
-
ausg
ang
.
Messsignal inst
abil.
Span
nu
ng am
Si
gn
al
au
sga
ng
1.2
V
(3MAx-xxx-0x0N
)
0.4
V
(3MAx-xxx-0x0Q
)
Span
nu
ng am
Si
gn
al
au
sga
ng
dau
er
nd
< 0.3 V
(3MAx-xxx-0x0
N
)
< 0.5 V
(3MAx-xxx-0x0
Q
).
Si
gnal
dau
er
nd bei
c
a
. 5×
10
-4
m
bar
.