INFICON Helium Leak Detector Modul1000 - Handbuch (Seite 106)

9-21
Technische Daten
jinb
80
d1
-h
Tech
ni
sch
es H
a
ndb
uch
(1
01
2)
9.7 Commander Betrieb
Abb. 9-14 Ablaufdiagramm
0
Groblecktest
1
Prüfling
abpumpen
2
Helium
befüllen
5
Warte auf
ULTRA
3
Messzeit läuft
6
Helium
entspannen
7
Rest-Helium
abpumpen
8
Prüfling
belüften
9
Zustand = EVAC oder ULTRA
Starte t1
t2 > t_F_Messbereitschaft
Prüfling grob
undicht
ERR91
Testkammer
oder Prüfling
ist leck
Err94
Pext < p_B_Abpumpdruck:
V30 schließen,
Pext > p_C_Fülldruck:
Schließe V33, Start Messzeit
ULTRA:
V33 öffnen, starte t1
V33 defekt
Err93
V30 oder ext.
Pumpe defekt
Err92 t1 > t_A_Abpumpzeit
t1 > t_C_Füllzeit
Zeitsteuerung (Default-Werte):
t_A_Abpumpzeit = 30s
t_B_Zeroverzögerung = 10s
t_C_Füllzeit = 30s
t_D_Entspannzeit = 30s
t_E_Flutzeit = 10s
t_F_Messbereitschaft = 10s
t_G_Messzeit = 10s
Messzeit > t_G_Messzeit:
Leckrate bestimmen,
V32 öffnen , starte t1
V30 / Pumpe
defekt
Err96
Pext < p_D_Entspanndruck:
V32 schließen, V30 öffnen, starte t1
Testgas-Pum
psystem
defekt
Err95
t1 > t_D_Entspannzeit
Pext < p_B_Abpumpdruck:
V30 schließen, V31 öffnen, starte t1
t1 > t_A_Abpumpzeit
V31 defekt
Err97 t1 > t_E_Flutzeit
Pext > p_A_Groblecktest:
Kammer fluten
"Pass" oder "Fail" ausgeben
Umschaltdrücke (Default-Werte):
p_A_Groblecktest = 900mbar
p_B_Abpumpdruck = 40mbar
p_C_Fülldruck = 2000mbar
p_D_Entspanndruck = 1100mbar
p_E_Druckabfallschw.= 1800mbar
STBY
Start
V21/V31 schließen
Run-up beendet
V34 schließen
Stop
Stop
V32 öffnen, V33 schließen
V34 öffnen,
Stop
Stop
Stop
p1 < 100mbar &
pext<p_A_Groblecktest
Druckabfall
im Prüfling
ERR99
Stop
Pext < p_E_Druckabfallschw.
Zero-
Verzögerung
4
ZERO_DISABLED |
(ZERO_ENABLED & (t1 > t_B_Zeroverzögerung)) |
(I*ZERO & SIGNAL_STABLE): Starte t1
Leckrate
nicht stabil
Err98 I*ZERO & t1>t_A_Zeroverzögerung
p1 < 100mbar &
pext>p_A_Groblecktest:
V30 öffnen, starte t1 und t2
Diverses:
t1, t2: Interne Timer
p1: Einlassdruckdruck Modul1000
pext: Druck im Prüfling