INFICON Helium Leak Detector Modul1000 Benutzerhandbuch

Seite 112

Advertising
background image

10-5

Fehlermeldungen und Warnungen

jinb

80

d1

-h

Tech

ni

sch

es H

a

ndb

uch

(1

01

2)

E54

Temperatur an der
Elektronikbaugruppe ist zu
hoch! (60°C)

Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.

Ungünstige Platzierung Dichtheitsprüfgerät. (Wärmestau)

Lüfter ausgefallen.

Luftfilter stark verschmutzt.

Temperatursensor defekt.

W55

Temperatur an der
Elektronikbaugruppe ist zu klein
(<2°C).

Der Temperatursensor auf der Verdrahtungsebene zeigt an, dass T < 2 °C.
Längere Hochlaufzeit der ext. Vorvakuumpumpe beachten!

Umgebungstemperatur zu niedrig

Temperatursensor ist defekt.

E56

Einlassdruck p1 zu niedrig!

Ausgangsspannung Pirani p1 U < 0,27 V.

Pirani Sensor p1 defekt.

Piranielektronik auf I/O Karte defekt.

Kabelverbindung defekt.

E58

Vorvakuumdruck p2 zu niedrig!

Ausgangsspannung Pirani p2 U < 0.27 V;

Pirani Sensor p1 defekt.

Piranielektronik auf I/O Karte defekt.

Kabelverbindung defekt.

E60

p2>10 mbar nach 5 Minuten seit
dem Einschalten.

p2 > 10 mbar nach t > 5 Minuten nach Einschalten des Dichtheitsprüfgeräts.

Enddruck der Vorvakuumpumpe zu hoch.

Undichtigkeit im Hochvakuumsystem oder Vorvakuumanschluss.

Vorpumpe ist defekt.

Ventil V2 öffnet sich nicht, da Drehzahl von 6Hz für TMh 071 nicht überschritten
wird.

Druckmessung fehlerhaft

E61

Emission fehlerhaft.

Emission sollte eingeschaltet werden. MSV Baugruppe signalisiert einen Fehler.
MENB Emissionsstrom außerhalb des zulässigen Bereiches.

Beide Katoden defekt. Ionenquelle ersetzen.

Ionenquellenstecker nicht gesteckt.

MSV Karte defekt

W62

Fluss durch Kapillare zu klein!
Lecks können unter Umständen
nicht detektiert werden.

Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schnüffelleitung überwacht. Fällt
der Druck unter einen Minimalwert, ist der Durchfluss durch die Kapillare zu
gering. Der Minimalwert kann über das Menü in bestimmten Grenzen eingestellt
werden. Die Werkseinstellung ist 0,5 mbar.

Filter in Filterspitze blockiert

Sinterfilter in Filterspitze verschmutzt.

Kapillare durch Schmutzeintrag blockiert.

Untere Druckgrenze zu hoch.

E63

Kapillare gebrochen

Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schüffelleitung überwacht.
Überschreitet der Druck ein vorgegebenes Maximum, ist der Gasdurchfluss durch
die Kapillare zu hoch. Der maximale Druck kann über das Menü in bestimmten
Grenzen eingestellt werden. Die Werkseinstellung ist 2,0 mbar.

Kapillare gebrochen oder abgerissen

Obere Druckgrenze ist zu niedrig.

Nr.

Angezeigte Meldung

Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung

Advertising