INFICON Helium Leak Detector Modul1000 - Handbuch (Seite 57)

Betrieb
6-18
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(1
01
2)
Beispiel: Die Triggerschwelle 1 beträgt 4×10
-7
mbar l/s. Somit reicht das Fenster
von 4×10
-8
mbar l/s bis zu 4×10
-6
mbar l/s.
• Leckrate Proportional:
Die Frequenz des akustischen Signals ist proportional zur Balkenanzeige. Der
Frequenzbereich beträgt 300 Hz bis 3300 Hz.
• Setpoint:
Die Tonhöhe ist proportional zur Leckrate. Ein Ton ertönt jedoch nur, wenn die
Leckrate den Trigger 1 überschritten hat.
• Triggeralarm:
Bei Überschreiten des Triggerlevel1 wird ein Signalton ausgegeben.
6.12.5 Hauptmenü
→
Kalibrierung (CAL) Betriebsart Vakuum
→
Intern automatisch
Wird die interne automatische Kalibriermethode gewählt, führt das Modul1000 den
gesamten Kalibrierablauf selbstständig durch.
Bei den automatischen Kalibriermethoden durchläuft das Modul1000 folgende
Sequenzen automatisch:
• Internes Testleck wird automatisch geöffnet, Evakuieren des Einlasses
• Messen des Testlecks
• Autotune (Abgleich auf maximale Empfindlichkeit des Massenspektrometers)
• Internes Testleck wird automatisch geschlossen, Messen des
Heliumuntergrundes
• Anzeige des neu ermittelten Kalibrierfaktors
→
Intern manuell
Wird eine manuelle Kalibriermethode gewählt, müssen währen des Kalibrierablaufs
verschiedene Eingaben getätigt werden.
1 Nur bei der externen manuellen Kalibriermethode muss, sofern die angezeigte
Leckrate nicht mit dem Wert des verwendeten Testlecks übereinstimmt, der
Testleckwert eingegeben werden. Die interne manuelle Kalibrierung startet bereits
durch Auswählen der Kalibriermethode.
Durch Drücken der Taste "Leckrate ändern", kann der Wert des verwendeten Test-
leck eingegeben werden (siehe auch Kapitel Werte ändern).
Nach dem Einstellen des Testleckwertes muss durch Drücken der Taste "Start" der
Kalibriervorgang gestartet werden.
2 Nachdem der Kalibriervorgang gestartet wurde, evakuiert das Modul1000 den
Einlassbereich.
3 Sobald der maximale Einlassdruck des Modul1000 erreicht ist, zeigt das Modul1000
ein zunächst noch schwankendes Messsignal in Form einer Balkenanzeige an.
Nach einer, von dem mit dem Einlass verbundenen Volumen abhängigen Zeit,
stabilisiert sich diese Anzeige.
Sobald die Balkenanzeige einen stabilen Wert angenommen hat, muss dies durch
Drücken der Taste "OK" bestätigt werden.
4 In einem nächsten Schritt gleicht das Modul1000 das Massenspektrometer auf
maximale Empfindlichkeit ab.