INFICON Helium Leak Detector Modul1000 - Handbuch (Seite 113)

Fehlermeldungen und Warnungen
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W64 Vorverstärkersignal ist zu groß.
Vorverstärkersignal hat im unempfindlichsten Messbereich 10 V für 10 s
überschritten.
Massive Verseuchung des Hochvakuumsystem mit Helium.
Vorverstärker defekt
Grobe Verunreinigung im Massenspektrometer.
E68 TMP-Frequenz zu klein.
TMP Frequenz von Solldrehzahl abgefallen im Schnüffelbetrieb.
Schnüffler nicht angeschlossen.
Schnüffelleitung undicht.
Frequenzwandler defekt. TMH 071 austauschen.
W69
Signaldifferenz zwischen
Testleck und Luft zu klein.
Signaldifferenz zwischen Testleck und Luft < 2 x 10E-14 A.
Fehlbedienung während der Kalibrierung
Testleck zu klein.
Testleck ist leer.
W70
Versorgungsspannung
+/-15 V zu niedrig.
DC/DC Konverter auf der MSV Platine liefern zu kleine Ausgangspannung.
Sicherung F3 auf MSV Karte defekt
DC/DC Wandler auf MSV defekt.
Steckbrücken für DC/DC Wandler auf MSV Karte falsch gesetzt.
W71
Versorgungsspannung
+/-15 V zu hoch.
DC/DC Konverter auf der MSV Platine liefern zu hohe Ausgangspannungen.
DC/DC Wandler auf MSV defekt.
E73 Emission aus (p
2
zu hoch)
Die Emission wird abgeschaltet, wenn der Druck p2 > 22 mbar ist.
Fällt der Druck nach Schließen der Einlassventile wieder, geht das
Dichtheitsprüfgerät in den Standby Modus zurück.
Lufteinbruch im Messbetrieb
Verschmutzte Ventile
W75
Maximale „Evakuierungszeit“
bis 100 mbar wurde
überschritten.
Innerhalb der eingestellten Evakuierungszeit ist die Druckschwelle von 100 mbar
nicht erreicht worden.
Prüfling hat ein Grobleck.
Evakuierungszeit ist auf das Prüflingsvolumen falsch angepasst.
W76
Maximale „Evakuierungszeit“
bis Messbetrieb wurde
überschritten.
Innerhalb der eingestellten Evakuierungszeit ist die Druckschwelle von 0,4 mbar
nicht erreicht worden.
Prüfling hat ein Grobleck.
Evakuierungszeit ist auf das Prüflingsvolumen falsch angepasst.
W77
Signalmaximum liegt außerhalb
des Massenabgleichbereichs!
Das Signalmaximum konnte innerhalb des Massenabgleich-bereiches nicht
detektiert werden. Das Signalmaximum hat sich an die Grenzwerte für den
Massenabgleich verschoben.
Falsche Grundeinstellung der Anodenspannung. Über das Servicemenü einen
manuellen Massenabgleich durchführen und Anodenspannung neu bestimmen.
Leckraten-Signal war instabil während des Massenabgleichs. Erneut kalibrieren.
Falsches oder fehlerhaftes Testleck. Internes Testleck überprüfen und
Kalibrierung mit externen Testleck wiederholen.
Nr. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung