INFICON Helium Leak Detector Modul1000 - Handbuch (Seite 36)

5-5
Betriebsarten
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5.4.1 Aufbau einer Lecksuchanlage
Der Aufbau einer Lecksuchanlage mit der Modul1000-Commanderfunktion
entspricht im Wesentlichen dem einer herkömmlichen integralen Dichtheitsprüfan-
lage.
Die Vakuumkammer wird durch das Modul1000 evakuiert, wahlweise auch im Teil-
strombetrieb (
Abb. 5-1 Teilstrombetrieb ). Das in der Vakuumkammer befindliche
Prüfteil ist durch die Kammerwände hindurch mit der Heliumbefülleinrichtung
verbunden und wird im evakuierten Zustand der Vakuumkammer mit Helium beauf-
schlagt.
Bedingt durch die Druckdifferenz zwischen dem Heliumdruck im Prüfteil und dem
Vakuum in der Vakuumkammer, strömt im Falle eines undichten Prüfteils Helium aus
der Leckage in die Vakuumkammer und weiter in das Dichtheitsprüfgerät, wo es
quantitativ als Leckgasstrom nachgewiesen wird.
Abb. 5-2 Lecksuchanlage
Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung
V30 Ventil evakuieren (Prüfteil) 1 Vakuumkammer
V31 Flutventil (Prüfteil) 2 Prüfteil
V32 Ventil zur Heliumrückgewinnung 3 Druckmessstelle
V33 Füllventil (Prüfteil) 4 Vakuumpumpe (Prüfteil)
V34 Notventil (stromlos offen) 5 Vorpumpe (Modul1000)