INFICON Helium Leak Detector Modul1000 - Handbuch (Seite 46)

6-7
Betrieb
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80
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Tech
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(1
01
2)
Messen
Sobald der Druck am Einlass des Modul1000 die eingestellte Druckgrenze unter-
schreitet, wechselt Gerät in den Messbetrieb.
Abb. 6-5 Evakuieren
Abb. 6-6 Messen
p
2
V2
MS V6
V7
p
1
V1
V4
V22