Wartungsplan 101, 4 wartungsplan – INFICON UL1000 Helium leak detector Benutzerhandbuch
Seite 101
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101
iina70d 09.fm
Technisches Handbuch
(1408)
9.4
Wartungsplan
Baugruppe
Wartungsarbeiten
Betriebsstunden/Jahre
Service-
stufe
Ersatz-
UL1000 / UL1000 Fab
1500
4000
8000
16000 24000
teil Nr.
1/4
1
2
3
4
Vakuumsystem
Vorpumpe D16 B
Ölstand kontrollieren, ggf. wechseln
X
I u.II
Öl wechseln
2
X
II
20099091
Vorpumpe überholen
X
III
Scrollpumpe Agilent
Tip- Seal austauchen
X
1
III
200001671
TS 620
Scrollkopf austauschen
X
III
200001665R
SplitFlow 80
Betriebsmittelspeicher tauschen
X
2
II u. III
200003801
Lagerwechsel
X
2
III
Ventilblock
Ventile reinigen, Ventildichtungen ersetzen
2
X
III
200000594
Ventilblock zerlegen u. reinigen
2
X
III
200000593
Filter Flut- Spülgasleitung erneuern
1
X
1
I, II,III
200000683
Pirani abgleichen
X
III
Schalldämpfer UL1000
Fab
austauschen
X
1
I, II, III
20099183
Auspuff-Filter UL1000
kontrollieren, entleeren
X
I, II, III
Filtereinsatz ersetzen
X
1
I, II, III
200000694
Elektrik
Lüfterbaugruppen
Lüfter Chassis-wand -boden ausblasen
1
X
1
I
Ersatzfilterzelle für Lüfter
Chassiswand austauschen
1
X
1
I
200000685