Betrieb des ul1000 und ul1000 fab, Display 47, Hochlauf-anzeigen 47 – INFICON UL1000 Helium leak detector Benutzerhandbuch

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Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab

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Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab

Der UL1000 und UL1000 Fab wird durch Betätigen des Netzschalters (siehe Kapitel

3.2.1

Hochlauf und Messen

) eingeschaltet. Nach weniger als 3 Minuten ist der

Hochlauf komplett; das Dichtheitsprüfgerät befindet sich im Bereitschaftsmodus
(Standby) und ist somit messbereit.

Den zu prüfenden Prüfling am Einlassflansch anschließen und die START Taste
betätigen. Der UL1000 und UL1000 Fab evakuiert daraufhin den Prüfling. Die Evaku-
ierungsdauer hängt vom Volumen des Prüflings ab. Während der Evakuierung wird
auf dem Display der Einlassdruck ständig angezeigt.

Bei Erreichen eines Druckes von 15 mbar (11 Torr oder 1500 Pa) schaltet das Dicht-
heitsprüfgerät in den Messmodus um. Die entsprechend gemessene Leckrate wird
dann angezeigt. Für weitere Erläuterungen zu den angezeigten Informationen siehe

Abb. 5-1

.

Die angezeigte Leckrate entspricht der Helium-Untergrundkonzentration im Prüfling.
Da der UL1000 und UL1000 Fab den Prüfling weiterhin abpumpt, fällt die Unter-
grund-Leckrate weiter. Sobald die angezeigte Leckrate klein genug ist, um den
jeweiligen Anforderungen zu genügen, kann damit begonnen werden, den Prüfling
von außen mit Helium zu besprühen, um Lecks zu finden.

Nach Beendigung der Prüfung die STOP Taste betätigen, und diese Taste einige
Sekunden gedrückt halten, um den Prüfling zu belüften.

5.1

Display

Das Display dient entweder zur Anzeige von Leckratensignalen oder programm-
spezifischen Einstellungen, und es dient der Informationsgewinnung durch die Soft-
waremenüs (siehe Kapitel

6

Beschreibung der Menüs

). Ferner werden über das

Display Meldungen und Wartungsanweisungen angezeigt (siehe Kapitel

8

Fehler-

und Warnmeldungen

).

5.2

Hochlauf-Anzeigen

Während des Hochlaufes (ca.

3 Min.) wird auf dem Display folgendes angezeigt:

Drehzahl der Turbopumpe

Vorvakuumdruck

Zustand der Emission

Aktive Kathode

Eine Balkenanzeige, die den Hochlauf-Fortschritt anzeigt

Hinweis: Wenn das Display zu hell oder zu dunkel ist lässt sich die

Kontrasteinstellung verändern (

6.2.4

.)

Während des Hochlaufs kann die Menü-Taste gedrückt werden (Siehe Kapitel

4.2.2.5

), um in das Auswählmenü zu gelangen.

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