4 beschreibung, Funktionsweise, Einführung 38 – INFICON UL1000 Helium leak detector Benutzerhandbuch
Seite 38: Aufbau des ul1000 und ul1000 fab, Vakuumsystem 38, 4beschreibung und funktionsweise, 1 einführung, 1 vakuumsystem

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Beschreibung und Funktionsweise
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Beschreibung und Funktionsweise
4.1
Einführung
Der UL1000 und der UL1000 Fab sind Helium-Dichtheitsprüfgeräte für Vakuuman-
wendungen, d.h. der Prüfling wird bei der Prüfung evakuiert. Das Vakuum wird mit
Hilfe des integrierten Pumpsystems erzeugt.
Eine weitere Betriebsart des UL1000 und UL1000 Fab ist der Schnüffelmodus,
welcher nur in Verbindung mit einer Schnüffelleitung (siehe Kapitel
) genutzt werden kann.
4.2
Aufbau des UL1000 und UL1000 Fab
Der UL1000 und UL1000 Fab ist eine selbstständige Einheit in einem Metallgehäuse
auf Rädern. Dieses Gehäuse enthält das gesamte Vakuumsystem und die entspre-
chenden Stromversorgungen. Oben auf dem Dichtheitsprüfgerät befinden sich der
Einlassflansch und die
.
4.2.1
Vakuumsystem
Das folgende Vakuumdiagramm zeigt die wichtigsten Komponenten im Inneren des
UL1000 und UL1000 Fab:
Abb. 4-1: Vakuum-Diagramm UL1000 und UL1000 Fab