INFICON UL1000 Helium leak detector - Handbuch (Seite 45)

Beschreibung und Funktionsweise
45
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Die Bedingungen für den beschriebenen Evakuierungsvorgang werden beibehalten,
bis der Einlassdruck p
1
unter 15 mbar gefallen ist. Nun öffnet sich Ventil V2. Mögli-
cherweise vorhandenes Helium kann nun im Gegen-strom in das Massenspektro-
meter strömen, wo es dann erfasst wird. Diese Betriebsart nennt sich GROSS; die
untere Anzeigegrenze beträgt 1×10
-6
mbar l/s.
Da die Scrollpumpe den Prüfling weiterhin evakuiert, fällt der Einlassdruck p
1
weiter.
Unter 2 mbar schaltet der UL1000 und UL1000 Fab in den FINE Modus, d.h. das
Ventil V4a öffnet sich und das Ventil V1b schließt sich. Der Gasfluss gelangt nun in
einer Zwischenebene in die Turbopumpe. Die System-Empfindlichkeit ist nun
größer, die untere Anzeigegrenze beträgt 1×10
-10
mbar l/s.
Nun evakuiert der untere Teil der Turbopumpe weiterhin den Prüfling, und nachdem
der Druck p
1
auf unter 0.4 mbar gefallen ist, schaltet der UL1000 und UL1000 Fab in
den ULTRA Modus, d.h. V1a und V4a schließen und V4b öffnet. Der Gaseinlass in
die Turbopumpe erfolgt nun weiter oben. Das Saugvermögen beträgt am Einlass nun
2,5 l/s, und die Nachweisgrenze beträgt 5×10
-12
mbar l/s.
Abb. 4-6: links: Evakuieren (keine Messung), rechts: GROSS Modus
Abb. 4-7: Links: FINE Modus, rechts: ULTRA Modus
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
V5
V4a
V4b
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2
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V6
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1
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V5
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