INFICON UL1000 Helium leak detector - Handbuch (Seite 15)

Allgemeines
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1.3.2 Technische Daten
1.3.2.1 Physikalische Daten
Hinweis: Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate
müssen erst einige Bedingungen erfüllt werden:
• Der UL1000 und UL1000 Fab muss warm gelaufen sein.
• Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/
Stöße).
• Der Prüfling muss lange genug evakuiert worden sein (so dass sich der
Untergrund nicht weiter verringert).
• Die Heliumuntergrundunterdrückung (ZERO) muss aktiv sein.
1.3.2.2 Elektrische Daten
Max. Einlassdruck 15 mbar
Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate <5×10
-12
mbar l/s
im Vakuummodus (ULTRA)
Untere Nachweisgrenze im Schnüffelmodus <5×10
-8
mbar l/s
Maximal anzeigbare Helium-Leckrate in ULTRA 0,1 mbar l/s
Messbereiche 12 Dekaden
Zeitkonstante des Leckratensignals

(blindgeflanscht, 63% des Endwertes)
<1 s
Vorvakuumsaugvermögen (Luft) 25 m
3
/h (50 Hz)
Max. Saugvermögen (Helium) am Einlass 30 m
3
/h (60 Hz)
• im Vakuummodus
– GROSS Modus 8 l/s
– FINE Modus 7 l/s
– ULTRA Modus 2,5 l/s
Nachweisbare Massen 2, 3 und 4
Massenspektrometer 180° magnetisches
Sektorfeld
Ionenquelle 2 Kathoden;

Iridium/Yttriumoxid
Einlassflansch DN 25 KF
Hochlaufzeit (nach dem Einschalten)
3 min
Kat. Nr. 550 - 000A, 550 - 100A 230 V 50 Hz
Kat. Nr. 550 - 001A, 550 - 101A 115 V 60 Hz
Kat. Nr. 550 - 002A 100 V 50/60 Hz
Leistungsaufnahme 1100 VA
Schutzart IP20
Netzleitungen (EU, USA, UK) 3 m