INFICON UL1000 Helium leak detector - Handbuch (Seite 44)

44
Beschreibung und Funktionsweise
iina
70
d 0
4
.f
m
Tech
ni
sch
es H
a
ndb
uch
(1
40
8)
Beispiel
Um die Triggerschwelle von 1.0x10
-9
mbar l/s auf 3x10
-9
mbar l/s zu ändern, die
Taste 2/3 (Taste Nr. 3) Abb. 4-5 betätigen. Es öffnet sich ein Untermenü ( Abb. 4-5 ),
in dem mit der Taste 4 der gewünschte Wert 3 gewählt werden kann.
4.3 Betriebsarten
4.3.1 Vakuummodus
Wie schon erwähnt (siehe Kapitel 4.2.1 Vakuumsystem ), muss der Prüfling evakuiert
werden, damit das von außen auf den Prüfling gesprühte Helium durch
möglicherweise vorhandene Lecks aufgrund der Druckdifferenz eindringen kann.
Bei Betätigung der START Taste öffnen sich die Ventile V1a und V1b, und der
Prüfling wird von der Vorvakuumpumpe (UL1000) oder der Scrollpumpe abgepumpt
(UL1000 Fab). Gleichzeitig wird Ventil V2 geschlossen, um einen unzulässigen
Druckanstieg in der Turbopumpe und im Massenspektrometer zu verhindern. Bei
geschlossenem Ventil V2 arbeitet die Turbopumpe ohne Unterstützung durch die
Scrollpumpe. Da das Massenspektrometer schon evakuiert ist, wird von dort kein
weiteres Gas gepumpt. Daher bleibt der Druck p
2
konstant oder steigt nur langsam
an.
Sollte z. B. wegen eines sehr langen Abpumpvorganges der Druck P
2
doch steigen,
so wird bei P
2
> 10 mbar die Evakuierung unterbrochen (V1a und V1b geschlossen)
und V2 wird kurzzeitig geöffnet, um ein geeignets Vorvakuum (P
2
< 1 mbar) wieder
herzustellen.
In den nachstehenden Diagrammen wird der Gasfluss während der Evakuierung und
während der Betriebsarten GROSS, FINE und ULTRA dargestellt.
Abb. 4-5: Numerische Eingabe der Trigger level 1