INFICON UL1000 Helium leak detector - Handbuch (Seite 114)

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Wartungsarbeiten
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9.11 Scrollpumpe (nur UL1000/UL1000 Fab)
Die Wartungsintervalle der Scrollpumpe (Agilent TS620) entnehmen Sie dem
Wartungsplan in
9.4 .
Die Wartung der Scrollpumpe sollte ausschließlich durch den INFICON Service oder
einem von INFICON autorisierten Servicepartner durchgeführt werden.