INFICON UL1000 Helium leak detector Benutzerhandbuch
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Allgemeines
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Automatische Nullpunkteinstellung
Messung und automatische Anpassung an den Heliumuntergrund.
Durch diese Funktion wird der interne Gerätenullpunkt bestimmt, der dann vom
aktuell gemessenen Leckratensignal abgezogen wird. Diese Funktion wird bei Betä-
tigung der Start-Taste aktiviert, sofern das UL1000 oder UL1000 Fab zuvor
mindestens 20 Sekunden in der Betriebsart „Standby“ oder „Belüften“ gelaufen ist.
Sollte später der zuvor unterdrückte Heliumuntergrund weiter sinken, so dass nur die
Anzeigegrenze angezeigt wird, dann wird der Nullpunkt automatisch angepasst.
GROSS
GROSS ist eine Messbetriebsart, die hohe Einlassdrücke zulässt (1 bis 15 mbar).
Die untere Anzeigegrenze beträgt hier 1x10
-6
mbar l/s.
FINE
FINE ist die Betriebsart für Einlassdrücke zwischen 2 und 0,4 mbar. Die Nachweis-
grenze liegt hier bei 1x10
-10
mbar l/s.
Vorvakuumdruck
Druck im Vorvakuum zwischen der Turbo-Molekularpumpe und der Vorvakuum-
pumpe.
Interner Heliumuntergrund
Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem. Die Größe des internen Heli-
umuntergrundes wird in der Betriebsart „Standby“ gemessen und vom gemessenen
Signal abgezogen. (siehe oben: Automatische Nullpunkteinstellung)
Kleinste nachweisbare Leckrate
Die kleinste nachweisbare Leckrate, die den UL1000 oder UL1000 Fab erfassen
kann (
5x10
-12
mbar l/s).
Menü
Das Menü erlaubt es dem Bediener den UL1000 oder UL1000 Fab, diesen entspre-
chend seinen Wünschen zu programmieren. Das Menü hat eine Struktur, die sich
baumartig verzweigt.
Messen / Messbetriebsart
Den UL1000 oder UL1000 Fab misst die Leckrate des Prüflings.
ULTRA
ULTRA ist der Messbereich mit der höchsten Empfindlichkeit bei Einlassdrücken
unter 0,4 mbar. Die kleinste nachweisbare Leckrate beträgt hier 5x10
-12
mbar l/s.
Werksauslieferungs-zustand
Zustand des UL1000 oder UL1000 Fab, wie vom Werk ausgeliefert.