INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Handbuch (Seite 104)

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Wartungsarbeiten
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9.9 Turbomolekularpumpe TMH 071
Die PFEIFFER Turbomolekularpumpe muss jährlich oder alle 4000 Betriebsstunden
gewartet werden. Für weitere Einzelheiten siehe PFEIFFER Bedienungsanleitung
PM 800 504 BN/F und PT 0017 BN/B. Wir empfehlen diese Wartungsarbeiten durch
den INFICON Service oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner durch-
führen zu lassen.
9.10 Scrollpumpe
Die Wartungsintervalle der verschiedenen Scrollpumpen (IWATA, VARIAN)
entnehmen Sie dem Wartungsplan in
9.4 .
Die Wartung der Scrollpumpen sollte ausschließlich durch den INFICON Service
oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner durchgeführt werden.