Bedieneinheit 37, 2 bedieneinheit – INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
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Beschreibung und Funktionsweise
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Die in das Massenspektrometer gelangenden Gasmoleküle werden von der
Ionenquelle ionisiert. Diese positiv geladenen Teilchen werden auf einer Kreisbahn
in das Magnetfeld hinein beschleunigt. Der Radius dieser Kreisbahn hängt vom
Verhältnis zwischen Masse und elektrischer Ladung der Ionen ab. Nur Heliumionen
sind in der Lage, diesen Filter zu passieren, um so den Ionenfänger zu erreichen, wo
der Fluss der Ionen als elektrischer Strom erfasst wird.
Zum Betrieb des Massenspektrometers ist ein Vakuumdruck im Bereich von
1×10
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mbar oder weniger erforderlich. Dieser Druck wird von der Turbomolekular-
pumpe erzeugt, die wiederum von einer Scrollpumpe unterstützt wird.
Neben der Funktion des Pumpsystems zur Erzeugung und Beibehaltung des
Druckes im Massenspektrometer, dient das Pumpsystem zur Evakuierung der Prüf-
linge. Es wird zu jeder Zeit sichergestellt, dass der Druck im Massenspektrometer
niedrig genug ist. Die Ventile V1a, V1b, V2, V4a, V4b steuern den Gasfluss während
der Messung. Ventile V5 und V8 werden zur Belüftung des Systems und der Turbo-
pumpe eingesetzt. Ventil V7 öffnet und schließt das interne Testleck während des
Kalibriervorgangs.
Wenn der Druck im Prüfling geringer als der Umgebungsdruck ist, kann im Falle
eines Lecks im Prüfling Helium, mit dem der Prüfling angesprüht wird, in diesen
eindringen. Sobald es die Druckbedingungen erlauben, öffnet sich eines der Ventile
in Richtung der TMP. Nun kann Helium entgegen der Pumprichtung der TMP (also
im Gegenstrom) in das Massenspektrometer gelangen.
Siehe Kapitel
für weitere Einzelheiten.
4.2.2
Bedieneinheit
Die Bedieneinheit
/7 enthält ein Flüssigkristalldisplay (LCD-Anzeige), die
START, STOP, ZERO (Untergrundunterdrückung) und MENU (Menü) Tasten sowie
acht weitere Tasten für verschiedene Menüs und Eingaben.
Die Bedieneinheit selbst ist drehbar.
Abb. 4-2: Bedieneinheit
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