INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Handbuch (Seite 8)

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1.1.2 Hinweise
Tipp Informationen zu hilfreichen Arbeitsweisen.
Hinweis: Informationen zu besonderen technischen Anforderungen, die vom
Bediener des Gerätes einzuhalten sind.
Die Hinweise zu Abbildungen bestehen aus Kapitelnummer, Abbildungsnummer und
Positionsnummer in dieser Reihenfolge. Beispiel: Abb. 2-4/7 bezieht sich im Kapitel
2 auf die Abbildung 4 und dort auf Position 7.
1.1.3 Vakuumsymbole
Nachstehend einige der gebräuchlichsten Vakuumsymbole, welche in diesem
Handbuch verwendet werden.
Vakuumpumpe allgemein
Turbomolekularpumpe
Druckmessgerät
Ventil
1.1.4 Begriffsdefinitionen
Automatische Messbereichswahl
Der Verstärkungsbereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche werden auto-
matisch ausgewählt.
Die automatische Messbereichswahl des UL5000 überstreicht den gesamten
Bereich oder den gesamten Leckratenbereich in Abhängigkeit von der ausgewählten
Betriebsart. Nicht nur das Leckratensignal, sondern auch der Druck im Prüfling
(Einlassdruck P1) und der Vorvakuumdruck (P2) werden zu Steuerungszwecken
herangezogen. Die Bereichsumschaltung innerhalb der Hauptbereiche erfolgt durch
Ventile. Die Feinbereichsumschaltung innerhalb der Hauptbereiche erfolgt durch die
Umschaltung des Verstärkungsfaktors im Vorverstärker.
Automatische Abstimmung / Masseneinstellung
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale Leckra-
tenanzeige erreicht wird. Der Steuerrechner ändert die Spannung, welche die Ionen
beschleunigt, innerhalb des ausgewählten Massenbereiches so, dass vom Ionende-
tektor ein maximaler Ionenstrom detektiert wird. Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine
automatische Einstellung der Masse.