INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Handbuch (Seite 36)

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Beschreibung und Funktionsweise
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4 Beschreibung und Funktionsweise
4.1 Einführung
Der UL5000 ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät für Vakuumanwendungen, d.h. der
Prüfling wird bei der Prüfung evakuiert. Das Vakuum wird mit Hilfe des im UL5000
integrierten Pumpsystems erzeugt. Ferner kann das Vakuum auch durch parallel
zum Dichtheitsprüfgerät geschaltete Pumpen erzeugt werden.
Eine weitere Betriebsart des UL5000 ist der Schnüffelmodus, welcher nur in
Verbindung mit einer Schnüffelleitung (siehe Kapitel
1.4.2 ) genutzt werden kann.
4.2 Aufbau des UL5000
Der UL5000 ist eine abgeschlossene Einheit in einem Metallgehäuse auf Rädern.
Dieses Gehäuse enthält das gesamte Vakuumsystem und die entsprechenden
Stromversorgungen. Oben auf dem Gerät befinden sich der Einlassflansch und das
Display.
4.2.1 Vakuumsystem
Das folgende Vakuumdiagramm zeigt die wichtigsten Komponenten des UL5000:
Das Massenspektrometer besteht hauptsächlich aus Ionenquelle, magnetischer
Trenneinheit und Ionenfänger.
Abb. 4-1: Vakuum-Diagramm UL5000
Pos. Beschreibung
1 MS: Massenspektrometer, Heliumsensor (180° magnetisches Sektorfeld-
Massenspektrometer)
2 Turbomolekularpumpe (TMP, dient zur Erzeugung des vom MS benötigten
Hochvakuums)
3 V1a … V8: Magnetventile zur Steuerung der Gasflüsse
4 Scrollpumpe (dient zur Erzeugung des Vorvakuumdruckes für die TMP und
pumpt zudem die Prüflinge ab)
5 Einlassflansch
6 Booster Turbomolekularpumpe
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V3
V7
p
1
V1b
V1a
V5
p
3
2
4
6
3