INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
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Fehler- und Warnmeldungen
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Nr.
Angezeigte Meldung
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
W46 Emission der Kathode 2 kann
nicht eingeschaltet werden.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode
2 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL5000 schaltet auf Kathode 1.
Neue Ionenquelle bestellen.
E47
Emission kann auf beiden
Kathoden nicht eingeschaltet
werden.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission kann nicht
eingeschaltet werden. Kathode durch Austauschen der Ionenquelle
ersetzen. Nach Austausch der Ionenquelle muss es im Servicemenü
möglich sein, beide Kathoden manuell einzuschalten.
E48
Anodenheizung defekt!
Signal MSAFD auf der MSV Platine ist aktiv. Sicherung für die Anoden-
heizung ist durchgebrannt.
Sicherung F2 auf der MSV Platine ersetzen.
E50
Keine Kommunikation mit der
Turbopumpe
Takt vom Frequenzwandler ist ausgefallen. Keine Kommunikation mit dem
Frequenzwandler.
E52
Turbopumpen-Frequenz zu
klein!
•
Die Drehzahl der Turbomolekular-Pumpe ist zu klein.
•
Frequenzwandler ist defekt.
•
Turbomolekularpumpe ist defekt.
W53 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu hoch
(>55)
•
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
•
Der Lüfter ist ausgefallen.
•
Der Luftfilter ist verschmutzt.
E
54 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu hoch
(>60)
•
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
•
Die interne Belüftung ist ausgefallen.
•
Die Luftfilter sind schmutzig und müssen ausgetauscht werden.
W55 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu niedrig
(< 2)
•
Der Temperatursensor auf der Verdrahtungsebene zeigt an, dass T <
2 °C. Längere Hochlaufzeit für die Vorvakuumpumpe.
•
Der Temperatursensor ist defekt.
E56
Einlassdruck p1 zu niedrig!
U < 0,27 V; Drucksensor defekt.
Thermovac-Sensor, welcher P1 misst, austauschen.
E58
Vorvakuumdruck p2 zu
niedrig!
U < 0,27 V; Drucksensor defekt.
Thermovac-Sensor, welcher P2 misst, austauschen.
E60
p2>10mbar nach 5 Minuten
seit dem Einschalten.
PV > 3,8 mbar nach t > 5 Minuten nach dem Einschalten. Hochlaufzeit der
Vorvakuumpumpe ist zu lang.
•
Vorpumpe ist defekt.
•
Ventil V2 öffnet sich nicht.
E61
Emission fehlerhaft.
Emission sollte eingeschaltet werden. MSV Baugruppe signalisiert einen
Fehler. MENB Emissionsstrom außerhalb des zulässigen Bereiches.
W62 Fluss durch Kapillare zu klein! Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schnüffelleitung geregelt.
Wenn der Druck unter einen Minimalwert fällt, ist der Durchfluss durch die
Kapillare zu gering (Verschmutzung) oder die Kapillare ist blockiert
(Fremdkörper, Partikel).
Der Minimalwert kann über das Menü eingestellt werden. Die Werksein-
stellung ist 0,1 mbar. Siehe Kapitel s. Kapitel
.