INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
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Allgemeines
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Automatische Nullpunkteinstellung
Messung und automatische Anpassung an den Heliumuntergrund.
Durch diese Funktion wird der interne Nullpunkt bestimmt, der dann vom aktuell
gemessenen Leckratensignal abgezogen wird. Diese Funktion wird während der
Kalibrierung oder bei Betätigung der Start-Taste aktiviert, sofern das UL5000 zuvor
mindestens 20 Sekunden in der Betriebsart „Standby“ oder „Belüften“ gelaufen ist.
Sollte später der zuvor unterdrückte Heliumuntergrund weiter sinken, so dass
während der Zero-Zeit nur die Anzeigegrenze angezeigt wird, dann wird der Null-
punkt automatisch angepasst.
Menü
Das Menü erlaubt es dem Bediener den UL5000 entsprechend seinen Wünschen zu
programmieren. Das Menü hat eine Struktur, die sich baumartig verzweigt.
Werkseitige Einstellung
Zustand des UL5000 bei Auslieferung aus dem Werk.
GROSS
GROSS ist eine Messbetriebsart, die hohe Einlassdrücke zulässt (1 bis 15 mbar).
Die untere Anzeigegrenze beträgt hier 1×10
-6
mbar l/s.
FINE
FINE ist die Betriebsart für Einlassdrücke zwischen 2 und 0,4 mbar. Die Nachweis-
grenze liegt bei 1×10
-10
mbar l/s.
ULTRA
ULTRA ist der Messbereich mit der höchsten Empfindlichkeit bei Einlassdrücken
unter 0,4 mbar. Die kleinste nachweisbare Leckrate beträgt hier < 5×10
-12
mbar l/s.
Vorvakuumdruck
Druck im Vorvakuum zwischen der Turbo-Molekularpumpe und der Scrollpumpe.
Kleinste nachweisbare Leckrate
Die kleinste nachweisbare Leckrate, die das UL5000 erfassen kann (
5E-12 mbar
l/s).
Interner Heliumuntergrund
Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem. Die Größe des internen Heli-
umuntergrundes wird in der Betriebsart „Standby“ gemessen und vom gemessenen
Signal abgezogen.
Messen / Messbetriebsart
Das UL5000 misst die Leckrate des Prüflings.