INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
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Beschreibung und Funktionsweise
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In den nachstehenden Diagrammen wird der Gasfluss während der Evakuierung und
während der Betriebsarten GROSS, FINE und ULTRA dargestellt.
Die Bedingungen für den beschriebenen Evakuierungsvorgang werden beibehalten,
bis der Einlassdruck p
1
unter 15 mbar gefallen ist. Nun öffnet sich Ventil V2. Mögli-
cherweise vorhandenes Helium kann nun im Gegenstrom in das Massenspektro-
meter strömen, wo es dann erfasst wird. Diese Betriebsart nennt sich GROSS; die
untere Anzeigegrenze beträgt 1×10
-7
mbar l/s. Bei 1 mbar wird die Booster-Turbo-
pumpe wirksam.
Da die Scrollpumpe den Prüfling weiterhin evakuiert, fällt der Einlassdruck p
1
weiter.
Unter 2 mbar schaltet der UL5000 in den FINE Modus, d.h. die Ventile V1a und V4a
öffnet sich und das Ventil V1b schließt sich. Der Gasfluss gelangt nun in einer
Zwischenebene in die Turbopumpe. Die System-Empfindlichkeit ist nun größer, die
untere Anzeigegrenze beträgt 1×10
-10
mbar l/s.
Abb. 4-7: links: Evakuieren (keine Messung), rechts: GROSS Modus
Abb. 4-8: links: FINE Modus, rechts: ULTRA Modus