Legende zum wartungsplan, Wartungsplan 95, 3 legende zum wartungsplan 9.4 wartungsplan – INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
Seite 95
Wartungsarbeiten
95
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40
8)
9.3
Legende zum Wartungsplan
9.4
Wartungsplan
*) alle 2 Jahre unabhänging von Betriebsstunden
•
I
Servicestufe I
Kunde
•
II
Servicestufe II
Kunde mit technischer Ausbildung
•
III
Servicestufe III
autorisierter INFICON
Servicetechniker
•
X
Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden oder
Zeitdauer
•
X
1
keine zeitliche Begrenzung, nur Betriebsstunden
•
1
von Umgebung und Einsatz abhängig
•
2
Prozessabhängig
Erforderliche Wartung
Betriebsstunden/Jahre
Servi-
cestufe
Baugruppe
UL5000
1500
4000
8000
16000
Ersatzteil
Nr.
1/4
1
2
Vakuumsystem
Scrollpumpe IWATA
Scrollkopf austauschen
X
III
200000021R
ISP 500
Scrollpumpe Varian
Tip-Seal austauchen
X
1
III
200001671
TS 620
Scrollkopf austauschen
X
III
200001665R
TMH 071
Betriebsmittelspeicher tauschen
X*
II u. III
200000577
Lagerwechsel
X
III
Ventilblock
Ventile reinigen, Ventildichtungen
ersetzen
2
X
III
200000594
Ventilblock zerlegen u. reinigen
2
X
III
200000593
Filter Flut- und Spülgasleitung erneuern
1
X
1
I, II ,III
200000683
Pirani abgleichen
X
III
Schalldämpfer
Schalldämpfer austauschen
X
1
I, II ,III
20099183
Elektrik
Lüfterbaugruppen
Lüfter Chassiswand und -boden
ausblasen
1
X
1
I
Ersatzfilterzelle für Lüfter Chassiswand
austauschen
1
X
1
I
20000685