8000 std.-wartung – INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
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Wartungsarbeiten
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8000 Std.-Wartung
Die 8000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer
anderen von INFICON autorisierten Person durchgeführt werden.
Das Scrollmodul der IWATA Scroll Pumpe muss unabhängig vom Erreichen einer
Betriebsdauer von 8000 Std., jedoch mindestens alle 2 Jahre ausgetauscht werden.
Für das Scrollmodul der Varian Scrollpumpe ist nach Erreichen einer Betriebsdauer
von 8000 Std. ein Austausch der „Tip Seal“ durch einen INFICON Servicetechniker
vorzunehmen. Unterbleibt der Austausch der „Tip Seal“ muss nach 12000 Betriebs-
stunden das Scrollmodul ersetzt werden.
Der Arbeitsaufwand für die Wartung beträgt ca. 6,0 Stunden.
Durchzuführende Arbeiten
Benötigte Materialien
Best.-Nr.
Scrollkopf austauschen (IWATA ISP-500B) •
Scrollkopf für IWATA ISP-500B
200000217R
Tip Seal erneuern (Varian TS 620)
•
Tip Seal
2000001671
Betriebsmittelspeicher TMH 071 erneuern •
Betriebsmittelspeicher für TMH 071
200000577
Ventildichtungen ersetzen
•
Dichtungssatz für Ventile
200000594
Filter prüfen/ersetzen
•
Ersatzfilterzelle für Lüfter
•
Ersatzfilter für Flut- und Spülgasleitung
•
Schalldämpfer für Auspuff
200000685
200000683
20099183
Prüfung und Abgleich