INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
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Fehler- und Warnmeldungen
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Nr.
Angezeigte Meldung
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
W63 Kapilaren gebrochen
Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schnüffelleitung geregelt.
Wenn der Druck ein vorgebenenes Maximum überschreitet, dann ist der
Gasdurchfluss durch die Kapillare zu hoch (nicht dicht, Bruch in der
Kapillare).
Der Maximalwert kann über das Menü eingestellt werden. Die Werksein-
stellung ist 1,0 mbar. Siehe Kapitel s. Kapitel
W65 Booster-Turbopumpe
fehlerhaft!
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
W66 Gate Interrupt des Booster-
TMP-Wandlers fehlt!
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
W67 Booster-Turbopumpe Hoch-
laufzeit überschritten!
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
W69 Booster-TMP Frequenz ist zu
hoch!
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
E73
Emission aus (p2 zu hoch)
PV >> 0,2 oder 3 mbar wegen Lufteinbruch, d.h. der UL5000 wird
versuchen, wieder in den Messmodus zu gelangen.
W76 Maximale Evakuierungszeit
überschritten.
•
Prüfling hat ein Grobleck.
•
Falsche Einstellung der maximalen Evakuierungszeit.
W77 Signalmaximum liegt
außerhalb des Massenab-
gleichbereichs!
Das Signalmaximum hat sich an die Grenzwerte für den Massenabgleich
verschoben.
•
Leckraten-Signal während des Massenabgleichs war instabil. Erneut
kalibrieren.
•
Über das Servicemenü die Grundeinstellung für die Anodenspannung
überprüfen.
•
Testleck überprüfen.
W78 Signaldifferenz zwischen
offenem und geschlossenem
Testleck ist zu klein.
Die Verstärker-Spannungsdifferenz zwischen offenem und geschlos-
senem Ventil ist geringer als 10 mV. Das Testleck ist nicht ordentlich
geschlossen worden.
W79 Testleck-Signal ist zu niedrig Das Testleck ist zu klein oder ist nicht geöffnet worden. Vorverstärker-
spannung < 10 mV.
W80 Bitte Gerät neu kalibrieren!
Die automatische Kalibrieraufforderung ist aktiviert (Siehe Kapitel s.
Kapitel
) und mindestens eine der folgenden Bedingungen ist
erfüllt:
•
30 Minuten seit Einschalten abgelaufen.
•
Vorverstärkertemperatur hat sich seit der letzten Kalibrierung um mehr
als 5°C geändert.
•
Massen-Einstellung wurde geändert.