INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Handbuch (Seite 14)

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Allgemeines
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1.3.2 Technische Daten
1.3.2.1 Physikalische Daten
Max. Einlassdruck 15 mbar
Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate
• im Vakuummodus (ULTRA) 5×10
-12
mbar l/s (siehe
folgenden HINWEIS)
• im Schnüffelmodus < 5×10
-8
mbar l/s
Maximale anzeigbare Helium-Leckrate 0.1 mbar l/s
Messbereich 12 Dekaden
Zeitkonstante des Leckratensignals
(blindgeflanscht, 63 % des Endwertes) <1 s
Vorvakuumsaugvermögen (Luft) 25 m
3
/h
(50 Hz)
Max. Saugvermögen (Helium) am Einlass (EN 1518) 30m³/h
(60 Hz)
• im Vakuummodus
– GROSS Modus 8 l/s
– FINE Modus 20 l/s
– ULTRA Modus >20 l/s
Nachweisbare Massen 2, 3 und 4
Massenspektrometer 180°
magnetisches
Sektorfeld
Ionenquelle 2 Kathoden;
Iridium/Yttriumoxid
Einlassflansch DN 40 KF
Hochlaufzeit (nach dem Einschalten)
 4 min
Vorsicht
Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate müssen
erst einige Bedingungen erfüllt werden:
• Der UL5000 muss warm gelaufen sein
• Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine
Vibrationen/Stöße).
• Der Prüfling muss lange genug evakuiert worden sein (so dass sich
der Untergrund nicht weiter verringert).
• Die Heliumuntergrundunterdrückung (ZERO) muss aktiv sein.