16000 std.-wartung – INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Benutzerhandbuch
Seite 99
Wartungsarbeiten
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16000 Std.-Wartung
Die 16000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer
anderen von INFICON autorisierten Person durchgeführt werden.
Mit Erreichen der 16000 Betriebsstunden ist die Lebenserwartung der Lager für die
Turbopumpe und der verschieden Vorpumpentypen erreicht.
Scrollmodule (IWATA ISP 500 oder Varian TS 620) sowie Turbopumpe müssen
ausgetauscht werden.
Der Arbeitsaufwand für die Wartung beträgt ca. 10,0 Stunden.
Durchzuführende Arbeiten
Benötigte Materialien
Best.-Nr.
Scrollkopf austauschen (IWATA ISP-500B) •
Scrollkopf für IWATA ISP-500B
200000217R
Scrollkopf austauschen (Varian TS 620)
•
Scrollkopf für Varian TS 620
200001665R
TMH 071 austauschen
•
Turbopumpe TMH 071
200000569R
Ventilblock zerlegen u. reinigen
Ventildichtungen ersetzen
•
Dichtungssatz für Ventilblock
•
Dichtungssatz für Ventile
200000593
200000594
Filter prüfen/ersetzen
•
Ersatzfilterzelle für Lüfter
•
Ersatzfilter für Flut- und Spülgasleitung
•
Schalldämpfer für Auspuff (nur UL1000
Fab)
200000685
200000683
20099183
Prüfung und Abgleich