2 "xtc2" serielle kommunikation mit prüfsumme, 3 "xtc2" serielle kommunikation - keine prüfsumme, 4 "xtc2" fehlercode – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch

Seite 147: Abschnitt 5.3.2 auf seite 5-35, M, xtc/c no ck sum, siehe, Abschnitt 5.3.3 auf seite 5-35