INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 150)

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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
24 Control Gain
Regelverstärkung 0.01- 100.0
25 Control TC
Regler Zeitkonstante 0.1 - 100
26 Control DT
Regler Totzeit 0.1 - 100
27 Max Power
Max. Leistung 0.0 - 100.0
28 Sample - Abtasten 0 - 99
29 Hold Time
Haltzeit 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
30-39 Nicht verwendet
40 Layer - Schicht 1-3 1 0-9 2
99 Alle
1) Kann 0 sein für Q Befehl; wenn 0, gibt Werte für Schichten 1 - 3.
Im XTC3/S gibt es nur eine Schicht. Q 40 2 oder Q 40 3 geben einen Fehler.
Q 40 0 gibt "1 0 0" zurück
Im XTC/3M, wenn kein Film in der Schicht bestimmt ist, geben Q 40 2 oder
Q 40 3 einen NO DATA Fehler zurück.
2) Trifft nur für U 40 Befehl zu. 0 ist nicht erlaubt für Schicht 1.
Tabelle 5-8 Q40 Befehl Antworten
Befehl XTC/3S Antwort XTC/3M Antwort
Q40 0 "a 0 0 " (a = 1 bis 9,
0 = Kein Film in Schicht) "a b c" (a = 1 bis 32, b = 0 bis
32, c = 0 bis 32)
Q40 1 "a" (a = 1 bis 9) "a" (a = 1 bis 32)
Q40 2 "No Data"
"Keine Daten" Fehler "b" wenn b = 1 bis 32
"No Data- Keine Daten"
Fehler wenn b = 0
Q40 3 "No Data"
"Keine Daten" Fehler "c" wenn c = 1 bis 32
"No Data- Keine Daten"
Fehler wenn c= 0
Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz
"XTC2"
PP
XTC/3 Parameter Bereich