INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 131)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Liste der Parameter für Befehl ID 3 = (nur XTC/3M)
<Anzahl von Bytes in Antwort><Prozess 1>…<Prozess 50><Prozess 1
Name>…<Prozess 50 Name>
Anzahl von Bytes in Antwort (2 Bytes)
Jede Prozess Schichtliste für jeden Prozess 1 bis 50 (2 Byte Länge (für die
Anzahl von Schichten programmiert) gefolgt von 1 Byte für jede programmierte
Schicht)
Alle Prozessnamen (Null terminiert) (1 - 50)
Liste der Parameter für Befehl ID 4 = (nur XTC/3M)
<Anzahl von Bytes in Antwort><Prozess 51>…<Prozess 99><Prozess 51
Name>…<Prozess 99 Name>
Anzahl von Bytes in Antwort (2 Bytes)
Jede Prozess Schichtliste für jeden Prozess 51 bis 99 (2 Byte Länge (für die
Anzahl von Schichten programmiert) gefolgt von 1 Byte für jede programmierte
Schicht)
Alle Prozessnamen (Null terminiert) (51 - 99)
Antwort:
Keine (Nur Header und Trailer)
5.2.2.4.2 "Standard" Film Name Update-Aktualisieren (nur XTC/3M)
Befehl:
UN <Film Nummer><Name>
Film Nummer = <Byte> 1-32
<Name> = Zeichenkette, (maximum 15 Zeichen, Zeichen sind beschränkt auf
Hex Werte 20 bis 7E inklusive, plus terminierendes Null Zeichen)
Antwort:
Keine (Nur Header und Trailer)
5.2.2.4.3 "Standard" Film Parameter Update-Aktualisieren
Befehl:
UF <Befehl ID> <Film Nummer> <Parameterwert>
Befehl ID = <Byte>. siehe “Befehl ID” Spalte von Tabelle 5-2
Film Nummer = <Byte> 1-9 (XTC/3S ) oder 1-32 (XTC/3M)
Parameterwert = <Integer> | <Float>
Beschreibung: Art des Parameterwert hängt vom Befehl ID ab,
siehe “Datentyp / Format” Spalte von
Tabelle 5-2 .