INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 190)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
5 Das In-Vakuum Kabel an den Sensorkopf schließen.
 Kontinuität (<0.2 ohm) von dem Fingerfederkontakt im Sensorkopf zum the
Mittelkontakt des freien Ende des In-Vakuum Kabel prüfen.
 Isolation (>10 megohm) zwischen Fingerfederkontakt und der
Abschirmung des In-Vakuum Kabel prüfen.
Wenn der Sensorkopf oder das In-Vakuum Kabelsystem defekt ist, kann die
Ursache dafür defekte Kontakte an der Verbindung zwischen dem In-Vakuum
Kabel zum Sensorkopf sein, den Sensorkopf entweder reparieren oder ersetzen.
Das In-Vakuum Kabel wieder an die Durchführung schließen und diese Prozedur
von Schritt 2 an wiederholen.
6 Sicherstellen dass die Blattkontakte im Sensorkopf auf etwa 60 Grad und
diejenigen am Keramikhalter auf etwa 45 Grad gebogen sind.
6.5.1.4 System Diagnostik Erfogreich Aber Crystal Fail Nachricht Besteht
Wenn das System korrekt funktioniert aber die Crystal Fail Nachricht wird immer
noch angezeigt, das folgende ausführen:
1 Am Keramikhalter prüfen ob die Niete in der Mitte fest sitzt. Je nach Bedarf,
reparieren oder den Keramikhalter austauschen.
2 Die Innenseite des Quarzhalters auf Materialanhäufung untersuchen. Den
Quarzhalter reinigen oder austauschen.
Nachdem die Sensorkopf Kontakte, die Sensorkopf/In-Vakuum Kabel Verbindung,
und die Keramikhalterkontakte geprüft wurden, das System wieder
zusammenbauen. Wenn die Crystal Fail Nachricht besteht, den Monitorquarz mit
einem guten Monitorquarz ersetzen. Den Monitorquarz durch Verwendung in
einem bekannt guten Messsystem prüfen. Wenn die Fehler weiter bestehen, mit n
INFICON Service Kontakt aufnehmen, siehe
Abschnitt 1.3 auf Seite 1-5 .
6.5.2 % XTAL Life - Quarznutzung
Der Quarz Sensor Emulator enthält einen Quarz mit einer Fundamentfrequenz bei
5.5 MHz. Mit dem Quarz Sensor Emulator angeschlossen, ist die % XTAL Life
Anzeige ungefähr 50%.