INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 5)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Inhaltsverzeichnis
Kapitel 1
Einführung und Technische Daten
1.1 Einführung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Weitere Gebrauchsanleitungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2 Gerätesicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2.1 Bedeutung der Kennzeichnungen Hinweis, Achtung und Warnung. . . . . . . 1-2
1.2.2 Allgemeine Sicherheitsinformationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.2.3 Schutzleiter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.2.4 Netzverbindung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.3 Mit dem Kundendienst Kontakt aufnehmen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.3.1 Rücksendung Ihres Gerätes zu INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.4 XTC/3 Spezifikationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.1 Messverfahren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.2 Anzeige und Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.3 Prozessrezept Speicherung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.3.1 Film Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.4 Anzeige. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.5 Ausgänge für Aufdampfquelle / Schreiber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.4.6 Relais/Eingänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
1.4.7 Externe Kommunikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
1.4.8 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
1.4.9 Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.10 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.11 Lagertemperatur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.12 Aufwärmzeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.13 Abmessungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.14 Platzbedarf für Steckverbinder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.15 Gewicht. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.16 Reinigung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.5 Entpacken und Inspektion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6 Übersicht der Komponenten und Optionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6.1 Grundkonfigurationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6.2 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
1.6.3 Ersatzkabel & Oszillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14
1.6.4 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14
1.7 Erstmaliges Einschalten zur Funktionsprüfung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16