INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 148)

5 - 36
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.3.5 "XTC2" Nachricht Zeichenketten
5.3.5.1 "XTC2" ECHO Befehl
Echo der Nachricht, d.h., gibt die übertragene Nachricht zurück.
Das Format ist: E Nachricht Zeichenkette
5.3.5.2 "XTC2" HELLO Befehl
Der HELLO Befehl gibt die Zeichenkette "XTC/y VERSION x.xx" zurück mit y = 2
oder C, abhängig vom gewählten RS232 Protokoll, und x.xx ist der Code für die
Software Revision.
Das Format ist: H
5.3.5.3 "XTC2" QUERY-Abfrage Befehl
Der Query-Abfrage Befehl gibt Information über aktuelle Instrument
Parameterwerte zurück.
Das Format des Query-Abfrage Befehl ist:
Q pp F - Parameter pp von Film F oder Q pp L (Layer) für Schichtparameter
abfragen. Ein Leerzeichen wird als Begrenzung zwischen Q und pp sowie pp und
F verwendet, mit F eine Nummer zwischen 1 und 9 für Filme, und L eine Nummer
zwischen 0 und 3, inklusive, für die abgefragte Schichtnummer.
HINWEIS: Wenn pp 99 ist, kommen alle Parameter in der Folge nach
Tabelle 5-7
zurück; jeder Parameter ist mit einem Leerzeichen getrennt. Dieser Befehl erlaubt
schnelle Übertragung eines Datenblock und bequemes downloaden von
Filmdaten.
Parameter Definition Tabelle (für Query-Abfrage und Update-Aktualisieren Befehle
)
F Wert kann jetzt nicht geändert werden
G Ungültige Prüfsumme
Tabelle 5-6 XTC2 Fehlercode
Code Beschreibung
Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz
"XTC2"
PP
XTC/3 Parameter Bereich
0 Rise Time 1
Anstiegzeit 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
1 Soak Power 1
Soak Leistung 0.0 - 100.0
2 Soak Time 1
Soakzeit 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
3 Rise Time 2 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
4 Soak Power 2 0.0 - 100.0