INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
5
Soak Time 2
0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
6
Shutter Delay
Blendenverzögerung
0 bis 1
7
New Rate
Neue Rate
0.0 - 999.9
8
Rate Ramp Time
Ratenrampenzeit
0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
9
Idle Ramp
Leerlauframpe
0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
10
Idle Power
Leerlauf Leistung
0.0 - 100.0
11
Time Power
Zeit-Leistung
1 oder 0 oder 'Y' oder 'y' oder 'N' oder
'n'
12
Xtal Switch S
Quarzwechsel
0 - 9 (siehe XTC/2 GA Abschnitt 4.6)
13
Xtal Switch Q
Quarzwechsel
0 - 9 (siehe XTC/2 GA Abschnitt 4.6)
14
Tool Factor 1
Korrekturfaktor
10 - 500.0
15
Tool Factor 2
Korrekturfaktor
10 - 500.0
16
Deposition Rate
Aufdampfrate
0 - 999.9
17
Final Thickness
Enddicke
0.0 - 999.9
18
Thickness Spt
Dicke Sollwert
0.0 - 999.9
19
Density - Dichte
0.5 - 99.99
20
Z-Ratio
0.1 - 9.999
21
Sensor
1 - 2
22
Source - Quelle
1 - 2
23
Crucible - Tiegel
0 - 8
Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz
"XTC2"
PP
XTC/3 Parameter
Bereich