Ready, Stop – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
WARNUNG - Schockgefahr
Der Schutzleiter darf nirgends unterbrochen werden.
Bei Unterbrechung des Schutzleiters innerhalb oder
außerhalb des Gerätes, oder wenn die Verbindung an
dem Anschluss für den Schutzleiter unterbrochen wird,
kann das Gerät zu einer Gefahrenquelle werden.
Dieses Symbol zeigt an, wo der Schutzleiter im
Geräteinneren angeschlossen ist. Diese Schraube oder
Verbindung niemals lösen.
1
Sicherstellen, dass die Netzspannung vorhanden ist, und dass das Gerät für
diese Netzspannung geeignet ist. Die für das Gerät erforderliche
Netzspannung ist auf einem Schild auf der Geräterückseite angegeben.
Netzschalter an der Geräterückseite auf On stellen.
2
Die Netztaste auf der Gerätevorderseite drücken. Neben der Netztaste sollte
eine grüne Lampe aufleuchten.
3
Nach einer kurzen Pause zeigt das LCD Information ähnlich der in
oder
Abbildung 1-2
dargestellt.
Abbildung 1-1 XTC/3M Operate Anzeige
0.0
Å/S
0.000
KÅ
0.0
%
READY
R +10 State mm:ss
A Source 1
T Sensor 1
E Crystal 1
D % Life 0
E S 0
V -10 Q 0
Process mm:ss Process 1
Layer 1 mm:ss Film 1
Status Messages Here
Stop
Status Transient Stop Cause