2 zubehör – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 25
1 - 13
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
1.6.2 Zubehör
Jeder Sensor benötigt eine Oszillatorbaugruppe für die Verbindung zum
Regelgerät.
XTC/3 15' (4.6m) Oszillatorbaugruppe . . . . . . . . 780-611-G15
XTC/3 30' (9.1m) Oszillatorbaugruppe . . . . . . . . 780-611-G30
XTC/3 50' (15.3m) Oszillatorbaugruppe . . . . . . . 780-611-G50
XTC/3 100' (30.5m) Oszillatorbaugruppe . . . . . . 780-611-G100
Die oben angeführten Baugruppen bestehen aus Oszillator 780-600-G1, 6" BNC
Kabel 755-257-G6 zwischen Oszillator und Durchführung und mehradriges
Reglerkabel 600-1261-P15, 600-1261-P30, 600-1261-P50 oder 600-1261-P100
zwischen Oszillator und Messgerät. Diese Baugruppen sind für die Benutzung mit
Standard In-Vakuum Kabeln von Längen von 6 Zoll (15,2 cm) bis 72 Zoll (182,9 cm)
entworfen. Das 007-044 Standard In-Vakuum Kabel das mit den Versionen des
nicht- UHV Ausheizbaren Front Load Sensor geliefert wird hat eine Länge von
30,75 Zoll (78,1 cm).
XTC/3 15' (4.6m) Oszillatorbaugruppe, 4 m / 6 Zoll 780-612-G15
XTC/3 30' (9.1m) Oszillatorbaugruppe, 4 m / 6 Zoll 780-612-G30
XTC/3 50' (15.3m) Oszillatorbaugruppe, 4 m / 6 Zoll 780-612-G50
XTC/3 100' (30.5m) Oszillatorbaugruppe, 4 m / 6 Zoll 780-612-G100
Die oben angeführten Baugruppen bestehen aus Oszillator 780-600-G2, 6" BNC
Kabel 755-257-G6 zwischen Oszillator und Durchführung, 157.5 Zoll (4 m)
In-Vakuum Kabel 321-039-G16 und mehradriges Reglerkabel 600-1261-P15,
600-1261-P30, 600-1261-P50 oder 600-1261-P100 zwischen Oszillator und
Messgerät.
XTC/3 15' (4.6m) Oszillatorbaugruppe, 3,5 m / 20 Zoll 780-613-G15
XTC/3 30' (9.1m) Oszillatorbaugruppe, 3,5 m / 20 Zoll 780-613-G30
XTC/3 50' (15.3m) Oszillatorbaugruppe, 3,5 m / 20 Zoll 780-613-G50
XTC/3 100' (30.5m) Oszillatorbaugruppe, 3,5 m / 20 Zoll 780-613-G100
Die oben angeführten Baugruppen bestehen aus Oszillator 780-600-G2, 20" BNC
Kabel 755-257-G20 zwischen Oszillator und Durchführung, 138 Zoll (3,5 m)
In-Vakuum Kabel 321-039-G15 und mehradriges Reglerkabel 600-1261-P15,
600-1261-P30, 600-1261-P50 oder 600-1261-P100 zwischen Oszillator und
Messgerät.