INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 153)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
S12 . . . . . Eingangstatus - gibt 9 ASCII Bytes in Folge Byte 1 bis 9, 1 Byte pro
Eingang. Jedes Byte hat einen ASCII Wert von 0 oder 1, abhängig vom
Eingangstatus. 0 = auf Masse oder Low (Aktiv), 1 = offen oder Hoch
(Inaktiv).
Tabelle 5-9 "XTC2" Ausgang Status Bits
Ausgang
#
Ausgangfunktion Ausgangstatus
1 Quellenblende 1 1=offen, 0=geschlossen
2 Quellenblende 2 1=offen, 0=geschlossen
3 Sensorblende 1 1=offen, 0=geschlossen
4 Sensorblende 2 1=offen, 0=geschlossen
5 Stop 1=Stop, 0=nicht Stop
6 Ende von Prozess 1=Ende von Prozess, 0=nicht Ende von Prozess
7 Dicke Sollwert 1=Dicke Sollwert
8 Soak 2 1=Soak 2 Phase
9 Quarzausfall 1=Xtal Fail-Quarzausfall
10 Alarm 1=Alarm Zustand
11 Quelle 1/Quelle 2,
(toggeln) 1=Quelle 2, 0=Quelle 1
12 Deposit Beenden
(Enddicke) 1=Depositende (Enddicke) erreicht
13 Tiegelwahl LSB
(XTC/2)
BCD Wert entspricht der Tiegelposition
der aktiven Quelle:
000 = Position 0 oder 1
111 = Position 8
14 Tiegelwahl (XTC/2)
15 Tiegelwahl MSB
(XTC/2)
16 nicht benutzt