INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 135)

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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.2.2.4.4 "Standard" General Parameter Update-Aktualisieren
Befehl:
UG <Befehl ID> <Parameterwert>
Befehl ID = <Byte> siehe “Befehl ID” Spalte von Tabelle 5-3
Parameterwert = <Integer> | <Float>
Beschreibung: Parametertyp Wert hängt von Befehl ID ab, siehe “DataType”
Spalte von
Tabelle 5-3 .
Antwort:
Keine (Nur Header und Trailer)
Sonderfall: UG255<Liste aller General Parameterwerte in Folge> aktualisiert
alle General Parameter in numerischer Folge.
HINWEIS: Beschränkungen bestehen die bestimmen wenn General
Parameter aktualisiert werden können. Alle Parameter können im
"Ready" Status aktualisiert werden.
36
(0x24)
Grafik
Bezeichnung
0 = Ratenabweich.
1 = Leistung
Int 0 1
37
(0x25)
Grafik Skala 0 = 5
1 = 10
2 = 20
3 = 40
Int 0 3
255
(0xff)
2
Alle
Parameter
1 siehe Abschnitt 4.2.6, Option, auf Seite 4-13
2
Kann nicht geändert werden während ein Film läuft.
Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung)
"Stan-
dard"
Befehl
ID
Name
Einheiten /
Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Daten-
typ/
Format
Untere
Grenze
Obere
Grenze