1 verbindung zur aufdampfquellensteuerung, Achtung – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
2.3.3.1 Verbindung zur Aufdampfquellensteuerung
Zwei BNC Buchsen, Source 1 und Source 2 benannt, liefern die
Analogregelungsspannungen für Ihre Verdampferquellenstromversorgung.
Standard 50 Ohm Koaxialkabel können verwendet werden.
2.3.3.2 Verbindung der Eingänge / Ausgänge (I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang))
ACHTUNG
Die Relais, Relaiskreis, und damit verbundenen Kontakte
in den I/O Steckern sind für eine maximal Spannung von
30 V(dc) oder 30 V(ac) RMS oder 42 V(Spitze) ausgelegt.
Der maximal Stromwert pro Steckerkontakt oder
Relaiskontakt ist 2,5A.
HINWEIS: I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Funktionen sind fixiert im XTC/3S
und sind identisch mit den Standard Zuordnungen im XTC/2.
HINWEIS: Im XTC/3M können die I/O Funktionen vom Benutzer gewählt werden.
Die Standard Zuordnungen sind identisch mit den Standard
Zuordnungen im XTC/2.