INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 31)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Kapitel 2
Installation und Schnittstellen
2.1 Hinweise zur Aufstellung
Bevor Sie dieses Gerät fest einbauen, empfehlen wir dass Sie den Abschnitt, der
sich auf die Installation und die Schnittstellen bezieht, ganz lesen und den
Empfehlungen so genau wie möglich folgen. INFICON® hat verschiedene
Maßnahmen getroffen, um sicherzustellen, dass das Gerät auch unter
verschiedenen rauhen Betriebsbedingungen betrieben werden kann. Die
Nichtbeachtung dieser einfachen Verfahrensweisen kann die Funktion des
Gerätes und seine Lebensdauer negativ beeinflussen.
2.1.1 Sensortypen
Die Wahl des Sensortyps hängt vom Prozess, dem Aufdampfmaterial und den
Abmessungen der Prozesskammer ab. Allgemeine Richtlinien für INFICON Front
Load Sensortypen sind kurz in der Sensorauswahltabelle
Tabelle 2-1 beschrieben.
Alle Sensoren, einschließlich Cool Drawer Sensortypen, sind auf der 074-5000-G1
CD, Teil des Ship Kit und http://www.inficon.com/de/productindex/index.htm
beschrieben. Für genaue Empfehlungen wenden Sie sich bitte an Ihren INFICON
Vertreter.
HINWEIS: Wenn diese Neuinstallation ein XTC/2 oder XTC/C mit
Doppelsensorkopf ersetzen soll, dann gibt es die Möglichkeit mit den
Komponenten 779-220-G1 ( 6 Zoll BNC Kabel mit CrystalTwo Switch)
oder 779-220-G2 ( 20 Zoll BNC Kabel mit CrystalTwo Switch) über
jeweils nur eine Oszillatorbaugruppe einen Doppelsensorkopf an einen
Sensorkanal anzuschließen. Der Xtal 2 Switch wird parallel mit dem
Pneumatisch Aktivierungs-Regelventil verdrahtet so dass die XIU
(Oszillator) Verbindung von einem zum anderen Quarz gleichzeitig mit
der Aktivierung der Blende hergestell wird. In diesem Fall muss
Sensortyp "CrystalTwo" selektiert sein. Wenn Sensortyp "Dual Head"
selektiert ist, werden zwei XIU Pakete benötigt und diese müssen an
Sensor 1 und 2 angeschlossen werden.
HINWEIS: XTC/3 unterstützt den alten CrystalSix Sensor Bestellnummerin.
750-260-G1 nicht.