INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 8)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
4.2.3 Deposit - Aufdampfung Parameter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.2.4 Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.2.4.1 S&Q Parameter Einstellung (Quarzausfall Auslösen) . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.2.4.2 Stability. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.2.4.3 Quality-Qualität. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.2.5 Source / Quellen Parameter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.2.6 Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.3 Übersicht der Prozessaufstellung (nur XTC/3M) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
4.3.1 Prozess Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.3.1.1 Prozessnummer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.3.1.2 Prozess Namen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.3.1.3 Schicht-Layerfolge Aufstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.4 General Parameter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18
4.4.1 Prozess Parameter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
4.4.2 Hardware Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
4.4.2.1 XTC/3S Film Select - Filmwahl Input Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23
4.4.3 Comm Info - Kommunikationsinfo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
4.4.3.1 Kommunikation Parameter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
4.5 I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26
4.5.1 XTC/3S Eingänge und Ausgänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-27
4.5.2 XTC/3M Eingänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-28
4.5.3 XTC/3M Ausgänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29
4.5.4 Eingang oder Ausgang Löschen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-32
Kapitel 5
Externe Kommunikation
5.1 Kommunikationsübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.1 Nachrichten- Protokolle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.2 Kommunikations-Hardware . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.3 RS-232C Serielle Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.4 TCP/IP Ethernet Schnittstelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.4.1 Netzverbindung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.1.4.2 Vorgangsweise um das Netzwerk Protokoll am PC erstellen. . . . . . . . . . . . 5-3
5.2 "Standard" Protokoll Nachrichtenformat. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.2.1 "Standard" Protokoll . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.2.1.1 "Standard" Befehl Paket (Host zu Instrument Nachricht) . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.2.1.2 "Standard" Antwort Paket (Instrument zu Host Nachricht) . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.2.2 "Standard" Kommunikationsbefehle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.2.2.1 "Standard" ECHO Befehl . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9