INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
HINWEIS: Das Wasser in den Leitungen darf nicht einfrieren. Dieses kann geschehen, wenn die Leitungen einen
Kryoschild passieren, und wenn der Wasserfluss unterbrochen wird. Für optimale Betriebsbedingungen
sollte die Wassertemperatur unter 30 °C liegen. Bei sehr hohen Umgebungstemperaturen kann über die
Wasserleitungen mehr Wärme an das Wasser abgegeben werden, als durch den eigentlichen Sensor. In
Extremfällen kann der Einbau eines Wärmeschutzschildes gegen Wärmestrahlung über den
Wasserleitungen von Vorteil sein.
Tabelle 2-1 Sensorauswahl Tabelle
Siehe auch 074-5000-G1 CD, Teil des Ship Kit und
http://www.inficon.com/de/productindex/index.htm für Daten über Cool Drawer Sensoren.
Max. Ausheiz
Temperatur* /
Isothermal
Wasserrohr &
Größe (Max. Umfang)
Koax Länge
Kopf & Halter
IPN
***CrystalSix
Sensor
130 °C / 400 °C
3,5” dia. x 2.0” hoch
(89 mm x 51 mm)
30” (762 mm)
304 SS
(Platte, Halter &
Materialab-
schirmung)**
750-446-G1
***Crystal12 Sensor
130 °C / 300 °C
4.0" dia. x 3.3" hoch
(102 mm x 84 mm)
30" (762 mm)
304 SS
XL12-xxxx
****Doppelsensor
CrystalTwo/Doppel-
sensor
130 °C / 400 °C
1.54" x 3.23" x 1.95" hoch
(39 mm x 82 mm x 50 mm)
30” (762 mm)
304 SS
750-212-G2
Standard Sensor
130 °C / 400 °C
1.063” x 1.33” x .69” hoch
(27 mm x 34 mm x 18 mm)
30” (762 mm)
304 SS
750-211-G1
***Standard Sensor
m/Blende
130 °C / 400 °C
1.06” x 2.24” x .69”
(27 mm x 57 mm x 1.8
mm)
30” (762 mm)
304 SS
750-211-G2
Sputtersensor
105 °C
1.36 x .69”
(35 mm x 18 mm)
30” (762 mm)
Au-beschichtet
BeCu
750-618-G1
Kompaktsensor
130 °C / 400 °C
1.11” x 1.06” x 1.06”
(28 mm x 27 mm x 27 mm)
30” (762 mm)
304 SS
750-213-G1
***Kompaktsensor
m/Blende
130 °C / 400 °C
2.08” x 1.62” x 1.83”
(53 mm x 41 mm x 46 mm)
30” (762 mm)
304 SS
750-213-G2
UHV ausheizbarer
Sensor
450 °C / 400 °C
1.35” x 1.38” x .94”
(53 mm x 41 mm x 46 mm)
12” (305 mm)
20” (508 mm)
30” (762 mm)
304 SS
007-219
007-220
007-221
***UHV
ausheizbarer
Sensor m/Blende
400 °C / 400 °C
1.46” x 1.37” x 1.21”
(37 mm x 35 mm x 31 mm)
12” (305 mm)
20” (508 mm)
30” (762 mm)
304 SS
750-012-G1
750-012-G2
750-012-G3
***Blende
400 °C / 400 °C
in zwei Ausführungen
erhältlich
N/A
300-Serie SS
750-210-G1
750-005-G1
(Sputter)
* nur beim Ausheizen; zur Überwachung des eigentlichen Aufdampfvorgangs ist ein Kühlwasserfluss erforderlich. Diese
Temperaturen sind konservative Maximaltemperaturen an dem jeweiligen Teil, die durch die Eigenschaften von Teflon (PTFE) bei
höheren Temperaturen vorgegeben sind. Im echten Einsatz ermöglicht die Wasserkühlung den Betrieb bei wesentlich höheren
Umgebungstemperaturen ohne negative Auswirkungen.
** Aluminiumkörper zur Wärmeübertragung.
*** Benötigt Pneumatische Blende Aktivierungs-Regelventil 750-420-G1 und Durchführung mit Pressluftanschluss.
**** Doppelsensor konfiguriert als "CrystalTwo" benötigt 779-220-G1 oder -G2 Xtal 2 Switch, Pneumatische Blende
Aktivierungs-Regelventil 750-420-G1 und 002-080 Durchführung mit Pressluftanschluss und zwei Signalverbindungen
aber nur ein XIU Paket. Doppelsensor konfiguriert als "Dual Head" benötigt wie oben, außerdem ein zweites XIU Paket
anstatt des 779-220-Gx Xtal 2 Switch.