INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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G
XTC/3 Gebrauchsanleitung
SHUTTER DEL(AY)
Blendenverzögerung
Die Aufdampfrate wird geregelt. Wenn
TRANSFER SENSOR auf Yes gesetzt
wurde, ist der zweite Sensor in Betrieb.
Geht weiter zum Aufdampfzustand
Deposit nachdem die Aufdampfquelle
innerhalb einer Abweichung der
Aufdampfratenregelung von 5% oder 0.5Å
für 5s liegt. [Delay Option, Shutter Delay
ON]
Inaktiv
Aktiv
HINWEIS: Die folgenden sind Beschichtung/Deposit Statusse.
CONTROL DELAY
Regelungsverzögerung
(Deposit Status)
Leistung konstant bei Soak Leistung 2.
Ratenregelung beginnt wenn die
Verzögerungszeit vorbei ist. [Delay Option,
Control Delay, Control Delay Time]
Aktiv
Aktiv
DEPOSIT
Dicke genullt auf Eingang in Depositphase
oder zurückgesetzt zu gespeichertem
Wert bei Stop/Start ohne Reset.
Ratenregelung. [Rate, Final Thickness,
PID Control, Prozess Gain, Primary Time
Constant, System Dead Time]
Aktiv
Aktiv
RATEWATCHER
(SAMPLE)/Abtasten
(Deposit Status)
Ratenregelung. [RateWatch Accuracy]
Aktiv
Aktiv
RATEWATCHER
(HOLD)/Halten
(Deposit Status)
Leistung konstant, basiert auf
durchschnittliche Leistung während der
letzten Abtastung. [RateWatch Hold Time]
Aktiv
Inaktiv
RATE RAMP
Ratenrampe
Ratenregelung, gewünschte Rate ändert
sich. [New Rate, Start Ramp, Ramp Time]
Aktiv
Aktiv
MANUAL
Die Leistungsabgabe an die
Aufdampfquelle wird über die
Fernbedienungseinheit gesteuert oder
über die Auf-, Abwärts Pfeiltasten auf der
Frontplatte.
Aktiv
Aktiv
TIME-POWER
ZEIT-LEISTUNG
Quarzausfall, Quelle wird auf
durchschnittliche Regelleistung bevor
Quarzausfall gehalten; [Time Power
Yes/No]
Aktiv
Aktiv
Tabelle 3-1 Status Beschreibungen (Fortsetzung)
STATUS
ZUSTAND
RELAIS KONTAKT
STATUS
Quellen
blende
Sensor-
blende