INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 2-1 Typische Installation
Allgemein sollte der Sensor so weit als möglich von der Aufdampfquelle entfernt
eingebaut werden (mindestens 25 cm), und zwar so, dass der Sensor immer noch
in der Lage ist, den Schichtdickenzuwachs bei einer Rate zu erfassen, die der auf
dem Substrat entspricht. In
sind richtige und falsche Methoden zum
Einbau der Sensoren dargestellt.
Montageblech
Koaxialkabel
(
zusammen mit den
oder,
Vom Kunden gestellte
Cajon Kupplung
Vom Kunden gestellte
Wasserzufluss
Wasserabfluss
XIU (Oszillator)
XTC/3 Chassis
Quelle
Quelle
Blende
Pneumatisches
Stellglied
Zur Quellen-
Stromversorgung
Quelle zu Sensor
10" Minimum
Sensor
Blende
Pressluft, 80 PSI, 110 PSI Max.
Zu
Sensor
Blende
IPN 750-420-G1
Blenden
Relais
Baugruppe
Löt-adapter
Wasserleitungen
verlegt)